主要技术指标：

电子束系统：

电子枪类型：肖特基（ZrO/W）场发射灯丝；

电子束分辨率：0.6 nm@15 kV（最佳工作距离），1.0 nm@1 kV （非减速模式，最佳工作距离）；

加速电压：最小加速电压0.2 kV，最大加速电压30 kV；

束流强度：最低束流强度0.8 pA，最大束流强度176 nA；

具备漂移补偿功能，具备可加热式物镜光阑；

电子枪寿命不少于12个月。

离子束系统：

离子源种类：Ga离子源；

离子束分辨率（双束交叉点）：2.5 nm@30 kV（采用选边法）；

加速电压：最小加速电压0.5 kV，最大加速电压30 kV；

离子束束流强度：最低束流强度1 pA，最大束流强度100 nA；

具备自动化TEM样品制备的程序模块和功能，具备实时监控离子束加工的功能；

离子源寿命不少于1000小时。

基本功能：

　　具备为200kV场发射透射电子显微镜进行全自动制样功能；可对材料进行切割并进行高分辨观察，对微区化学成分进行分析；可对样品制备及切割过程中的三维数据进行重构。