主要技术指标：

分辨率：点分辨率≤0.23 nm，线分辨率≤0.10 nm，信息分辨率≤0.12 nm

加速电压：20 kV-200 kV连续可调，出厂合轴条件为80 kV、200kV。

电子枪类型：超亮热场发射电子枪；亮度：1.8×10⁹A/(cm²srad)；电子能量发散度≤0.8eV；束流/束斑：1.5 nA@1nm；电子枪寿命不少于12个月。

电子衍射：最大会聚角（CBED）:100 mrad；最大衍射角：200 mrad；相机长度：可调范围14-2000 mm。

样品台：压电陶瓷样品台；样品台漂移≤0.5 nm/分钟，最小移动步长20pm。

基本功能：

　　200kV场发射透射电子显微镜可对材料的形貌、结构进行高分辨观察，对微区化学成分进行分析；可进行原位TEM加热测试；可对材料的三维重构信息进行探测分析。